Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier zeichnete das Team der Zeiss-Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 aus. Die Jury würdigte damit Dr. Peter Kürz (Zeiss), Dr. Michael Kösters (Trumpf Lasersystems) und Dr. Sergiy Yulin (Fraunhofer Institut) für ihren Beitrag zur Entwicklung und industriellen Serienreife der EUV-Technologie, ein extrem ultraviolettes Licht.
Weiterlesen